хм. 20 нм можно и чем другим выбить. (+)
Или даже ишшо с более высоким разрешением. Я точно не помню, но вродя как FIB нашенский (стандартный девайс, в общем) где-то в районе порядка единиц нм могет пучок галлиевых ионов фокусировать.
Только ето уже все злостный оффтопик. :)
Всего наилучшего,
Йети
